智能半导体制造：打造面向未来的工厂

随着半导体行业不断创新和发展，只有通过创新技术，才能在不牺牲安全性或质量的情况下满足日益增长的芯片需求。

智能制造的优势


提高质量和产量	达成可持续发展目标	提高机器可用性

智能制造解决方案可提供全新的数据源，提高预测性维护模型的准确度，进而改善晶圆质量和机器可用性。环境的可持续性对于确保整个半导体生态系统继续保持增长至关重要。通过实施水和能源监测，可以识别低效问题，帮助优化制造过程。工业4.0倡议有助于提高未来半导体工厂的效率和可持续性。

智能制造解决方案优化每道生产工序

ifm是您提高OEE和改善能耗的可靠合作伙伴

质量控制和产量提高

晶圆制造监测

在晶圆加工中，保持硅锭生长和切片的一致性非常重要。晶圆抛光是下游生产高质量产品的基础。在晶圆制造的抛光过程中监测设备有助于：

识别轴承损坏
识别主轴故障
记录碰撞事件

该阶段的状态监测可以确保均匀抛光并降低未发现的轻微振动变化最终导致的下游产品缺陷、瑕疵的风险。

CMP解决方案

达成可持续发展目标

优化能源和资源利用率

水循环利用（精确的水质监测）和减少气体排放（空气消耗量监测）是保护环境的关键步骤。

有了ifm的RTM解决方案，客户能够

关注所有单项消耗，并借助“计算值”功能将它们合并为整体结果
识别每个客户相较于理想情况的偏差，以便采取针对性维护或优化措施

因此，对IoT解决方案的投资同时也是对更高效利用资源的投资，可实现可持续的成本降低。

超纯水加注解决方案 ➜

提高机器可用性

sub-fab设施监测

最终，芯片生产依赖于sub-fab中设备的一致性和可靠性。精密监测有助于制造商对数据进行趋势分析并识别可指示机器性能变化的模式。振动监测有助于：

监测关键设备
执行根本原因分析
预测理想的维护间隔

真空泵解决方案 ➜

智能储罐液位监测有助于：

防止计划外停机
触发自动加注
提醒库存低，以便重新订购

有了智能液位传感器，您可以触发自动加注和通知功能，提示需要重新订购库存。该数据可以发送到ERP系统，用于优化供应链预测和计划。

CDS解决方案 ➜

SEMI

作为我们对半导体行业承诺的一部分，ifm很荣幸成为SEMI国际贸易协会的成员。我们致力于推进半导体行业的智能制造项目，并相信智能解决方案将加速行业发展。通过与ifm的合作，半导体制造商可以快速获得更多生产数据。如果您有任何疑问或希望获取个性化解决方案，请联系我们的半导体行业工程专家，为您的晶圆制造工厂量身定制解决方案。

欢迎在Semi访问我们