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半导体加工

半导体制造过程中的每个加工步骤对于质量控制都至关重要。为生产出复杂精细的最终产品,必须经过掺杂、蚀刻、沉积、光刻和金属化等工序。在每道工序之间,都要进行抛光以确保晶圆为下一步工序做好准备。

对关键设备进行状态监测可提供实时数据,从而:

  • 降低废品率
  • 提高机器可用性
  • 提高产品质量

在机器即将发生故障时发出警报,可降低产品缺陷和晶圆报废的风险。通过IO-Link进行振动监测,您可以实施边缘计算,从而在生产过程中立即采取行动。利用IO-Link的Y型线路,您可以同时将设备数据发送到内部软件进行趋势分析,以制定预测性维护计划。